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21 Mar

分析真空镀膜机精密抽真空速度慢的原因

55sj世纪发布时间:2022-03-21

    分析真空镀膜机精密抽真空速度慢的原因
    真空镀膜机精度抽速慢的原因主要从以下几个方面找到:
    首先，扩散泵可能不是很好。
    解决方法:可以用电离计测量单扩散泵的泵口，看单扩散泵的抽吸能达到多少，再看抽吸时间和极限，然后比较。
    二、真空系统有轻微漏气。
    解决方法:需慢慢检测泄漏，看抽真空时间是否能达标。
    三、箱子太脏，太脏的气体大。
    解决方法:清洗纸箱
    四、前级真空度不好，机械泵或机械泵加罗茨泵的终 极真空度不好。
    解决方法:可单独用电阻计检测前管。