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Jun
真空镀膜的三种形式介绍
发布时间:2022-06-27
真空镀膜的三种形式介绍
介绍了真空镀膜的三种形式：发汗法、溅射法和离子镀法。发汗涂料是将某些物质加热、蒸发，使其在固体表面堆积而成，称为发汗涂料。法拉第在1857年首次提出这种方法，现在它已成为一种常见的涂层技术。
金属、化合物等发汗物质置于坩埚内或悬浮在热线上作为蒸发源，金属、陶瓷、塑料等基材上的镀件置于坩埚前。将系统抽至高真空后，加热坩埚，使材料在其中蒸发。蒸发物质的原子或分子以冷凝的形式聚集在基质表面。薄膜的厚度从几百埃到几微米不等。薄膜厚度由发汗源的发汗速率和发汗时间（或材料负荷）决定，并与发汗源截面与基体之间的距离有关。
对于大面积涂层，通常采用旋转基体或多个蒸发源来保证涂层厚度均匀。蒸发源与基体之间的距离应小于残余气体中蒸发分子的均匀自由程，以避免蒸发分子与残余气体碰撞产生的化学效应。蒸气分子的均匀动能在0.1～0.2ev之间。
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