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18 Jul

真空镀膜机工作环境要求

发布时间:2022-07-18

真空镀膜机工作环境要求
真空镀膜机主要是指一种需要在高真空下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、分子束外延、PLD激光溅射沉积等多种。其主要思想分为蒸发和溅射。
真空镀膜机工作环境要求：
真空镀膜设备应在真空条件下工作，因此设备应满足真空对环境的要求。真空对环境的要求一般包括真空设备对实验室（或车间）温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求，以及对真空或真空中零件或表面的要求。
这两个方面密切相关。周围环境直接影响真空设备的正常使用；真空室或安装在真空设备中的零件是否清洁直接影响设备的性能。如果空气中含有大量水蒸气和灰尘，则在不清洁真空室的情况下，使用油封机械泵泵送很难达到预期的真空度。众所周知，油封机械泵不应泵出含有对金属有腐蚀性且对真空油有反应的颗粒粉尘的气体。水蒸气是一种可冷凝的气体。当泵出大量可凝气体时，对泵油的污染将更加严重。因此，泵的极限真空将降低，泵的泵送性能将受损。
工业环境中的粉尘以粉状体、无标题眼和粉尘为特征。粉末是处于粉末或固体颗粒聚集或分散状态的物质。所谓粉末是指微小固体颗粒的集合，颗粒是指可以逐个计数的微小物质。烟雾是一种物质系统，其中固体或液体的小颗粒以漂浮状态存在于气体中。处于颗粒状状态的物质，无论是固体还是液体，统称为尘埃粒子。空气清洁度标准由粉尘粒径大小确定，从而定制洁净室等级。它不仅适用于有清洁要求的工业部门，也适用于清洁环境的真空要求。