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25 Apr

真空镀膜设备操作规程

发布时间:2022-04-25

真空镀膜设备操作规程
有关真空镀膜设备的操作，请参阅设备手册、真空镀膜机旋钮下的注意事项和仪表板上的指针显示。总体情况如下：
① 检查真空镀膜设备的操作控制开关是否在“off”位置。
② 打开总电源开关，真空镀膜设备通电。
③ 拉出低压阀。打开充气阀，当听不到气流声时，启动钟罩阀，钟罩上升。
④ 安装固定式钨丝加热器。PVDF膜和铝盖板固定在转盘上。将铝线放入螺旋加热器。清洁钟罩的所有零件，确保没有杂质。
⑤ 把钟罩放下。
⑥ 启动真空镀膜设备的真空机械泵。
⑦ 打开复合真空计电源（复合真空计型号：fzh-1a）。
1、 顺时针转动左侧旋钮“1”至加热位置，指向第2部分。
2、 低真空表“2”的指针顺时针移动。当指针移动到110mA时，左旋钮“1”旋转指向第2段的测量位置。
⑧ 当低真空表“2”中的指针再次顺时针移动到6.7pa时，低压阀被推入。此时，左旋钮“1”旋转指向截面1的测量位置。
⑨ 开启真空镀膜设备冷却水，启动扩散泵，加热40分钟。
⑩ 拉出低压阀。重复动作步骤（7）：转动左下旋钮“1”指向第2节的测量位置。低真空表“2”的指针顺时针移动。当指针移到6.7pa时，打开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
当低真空表“2”中的指针向右移动到0.1pA时，打开仪表灯丝开关。
3、 将排放和零点测量按钮“9”旋转到排放位置。
4、 转动左下旋钮“1”指向截面1的测量位置。